반도체 장비 : PVD에 사용

DC Sputtering에서 음극 타겟 부위에 강력한 영구자석이 부착되는데 이는 자기장으로 DC 플라즈마를 타겟 주위에 집중되도록 만든 방식이다. 위와 같은 방식으로 자유전자는 영구자석에 의해 나선운동을 하며 가속하게 되며 이때 사용되는 영구자석의 구조물이 당사의 제품으로 Part NO. 0010-21844, 0010-21810, 0010-20225, 0010-20328 등이 있다.