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MAGCOUPLE(MAGNET COUPLING)

제품소개

비접촉 직선형 동력 전달 장치로 기계식 커플링의 문제인 종동부의 과부하로 인해 구동부 파손 등을 방지하는 제품으로 소음, 분진 등이 없어야 하는 반도체 (CMP), LCD, OLED 등 Clean 환경이 요구되는 제조 환경에서 사용된다. 또한, 디스크 타입의 제품은 챔버 IN-OUT간 격벽이 있는 환경에서도 비접촉 방식으로 동력 전달을 할 수 있다.

장점

  • 직선형 동력전달
  • 기존의 기계식 커플링 대비 마모 없이 영구적으로 사용 가능
  • 고객이 요구하는 맞춤에 의한 최적 자기회로 설계 실현
  • 무분진, 무소음, 고속, 저속, 부드러운 구동
  • 종동부 과부화시 마그넷 슬립으로 구동부 파손 방지

MIC 시리즈 (IN-OUT Coupling Type)

반도체 CMP 장비 최대 토크 : 220 (Nm)